mks流量计测量与控制常问题

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流量测量与控制常见问题

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MKS 产品上的常见配件

MKS Instruments 产品上最常见的配件是什么样的？

基于热的质量流量的气体校正因子

我在哪里可以找到基于热流的气体校正因子的气体换算表？

对于气体混合物，计算出的质量流量控制器 (MFC) 气体校正因子 (GCF) 不仅仅是每个组分 GCF 的加权平均值。相反，GCF（相对于氮气

过以下等式计算（对于 n 种气体）：

这里，a1 到 an 是气体 1 到 n 的分流；s1 到 sn 是分子结构因子；d1 到 dn 是标准密度；cp1 到 cpn 是具体温度。s、d 和 cp 的值适

大多数气体；许多都列在我们的 MFC 手册中。a1 到 an 的值取决于应用程序。（请记住，a1 到 an 的总和必须是 1.0。）

分子结构校正因子：

1.030 用于单原子气体

双原子气体为 1.000

.941 三原子气体

.880 用于多原子气体（四个或更多原子）

示例：

气体 1 = 150 sccm 的氩气

气体 2 = 50 sccm 的氮气

如果流动混合气体，如何计算气体校正因子？

什么是sccm？2022/5/28 14:14 流量测量与控制常见问题

https://www.mksinst.com/n/flow-measurement-control-frequently-asked-questions 2/2

GCF 为 1。