MKS Type πPCTM PCA & P99A常见故障维修方法

MKS流量计维修东莞全芯售后服务部，为您分享MKS Type πPCTM PCA & P99A常见故障维修方法，不限故障型号流量计维修包测试好，MKS流量计维修电话13790663326：

一。无法通过连接到单元

1.以太网网络设置不正确进行手动网络设置

2.电缆不正确

23.如果直接从电脑，你一定在使用交叉缆绳如果通过集线器/交换机进行连接，那么您必须使用标准以太网电缆。

4.通过命令窗口，键入通过c:drive执行以下命令：“ping xx.xx.xx.xx”，其中xx.xx.xxx.xx是

设备的IP地址。如果连接没有超时，然后查看你的互联网设置。

二、本地显示器不亮无电源检查电源

1.低功率测量电压11-25 VDC（DNet）

2.电缆连接不良检查引脚导通性不响应设定点低或无电源检查电源，测量电压

3.如果DeviceNet，连接不正确验证DNet I/O实例是否正确

三、控制电路故障

1.向设备提供设定值、气体和压力，使用以太网GUI运行诊断。如果出现错误

结果，请联系MKS售后服务13790663326

2.污染/堵塞-堵塞πPC设备或气体管线检查πPC处的入口压力。检查出口压力@πPC，使用压力计。制作确保足够的真空度。检查至的空气管路气动阀（如适用）。检查

任何阻力，如过滤器或止回阀πPC的下游/上游当给定设定值关闭上游气动阀打开阀

调节器关闭或故障检查调节器是否正常工作上游堵塞检查流向πPC的气流。

没有气体供应打开气源πPC故障压力传感器输出使用以太网GUI运行πPC诊断。如果

错误结果下游阀门打开至真空，上游阀门关闭检查气动阀空气管路的状态&电磁阀和系统泵

四、显示器显示（0）流量

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1.上游或下游关气动阀打开阀门，检查入口压力没有供气打开供气上游堵塞的过滤器/部件通过

测量整个装置的压降πPC节流孔堵塞验证πPC入口压力、止回阀打开阀门条件下的电流。

2.检查πPC下游的气体流量-如果流量不存在，可能堵塞节流孔πPC堵塞传感器

使用以太网GUI运行πPC诊断。如果错误结果，请联系MKS服务中心。验证πPC入口压力、止回阀阀门打开状态的电流，检查下游气流。如果存在流动，可能堵塞的传感器πPC控制电路故障使用以太网GUI运行πPC诊断。如果错误结果，请联系MKS服务中心。

五、πPC显示输出压力超量程πPC阀全开**条件下的止回阀电流πPC上的压降更大比规格

测量上游压力和下游压力压力与规范进行比较。

六、阀门控制故障电路/校准使用以太网GUI运行πPC诊断。如果错误结果，请联系MKS服务中心。

1.阀门可能受到污染装配循环净化πPC以清除可疑污染πPC输出信号不匹配设定值

污染检查是否存在部分阻塞节流孔或传感器。

2.循环吹扫πPC以清除污染物进口压力过低增加进口压力出口压力过高降低出口压力控制电子设备故障，传感器失败使用以太网GUI运行πPC诊断。如果错误结果，请联系MKS服务中心。

七、πPC输出信号振荡kP和/或未调整的kI值

正确地通过以太网检查/重新调整值GUI。进口压力过高进口压力降低进口压力振荡检查调节器是否有故障控制电路故障使用以太网GUI运行πPC诊断。如果错误结果，请联系MKS服务中心。

πPC流量输出信号匹配设定值，但实际气体流量较小（根据转移标准确定）****PC99**

受污染旁通检查工艺室压力。比较正常或参考。针对不同气体编程的πPC将πPC中编程的气体与实际气体进行比较使用的气体。使用DNet或以太网进行验证界面

八、πPC无法达到FS压力**对于下游控制器**入口压力低增加入口压力>>确保不要

超过45磅/平方英寸（d）出口压力高降低出口压力阀门污染检查**位置的阀门电流

气体管线堵塞/污染测量整个部件的压降疑似污染，如过滤器或止回阀通过控制体积的流量不是

受到足够的限制。真空力将流量迅速拉出来至FS压力。调整流量限制。