Comdel电源维修

东莞全芯射频电源为 XP Comdel 的射频电源、直流发电机、静电吸盘电源、多通道合成器和匹配网络器，提供全品牌的维修和技术支持服务，comdel售后电话13790663326

高频射频电源

Comdel 高频射频电源 旨在满足半导体加工中射频驱动等离子系统的性能需求。应用包括蚀刻、ICP、RF 溅射和 PECVD，以及工业系统中的感应和介电加热工艺，以及太阳能光伏应用。

CB系列

CB 系列是 45 年射频等离子和加热经验的结晶。我们采用了 CX 系列功率放大器部分久经考验的坚固设计，并将其与直流电源和诊断方面的所有创新相结合，打造出紧凑、稳定的射频电源，同时不会影响尺寸的可靠性。这些单频 RF 电源在 HF 频段（3.39MHz 至 30MHz）中运行，仍然受益于 XP Comdel 的 “S”技术。

CVB系列

CVB 系列以 30MHz 至 81MHz 的频率运行，为等离子和工业过程提供可靠的 VHF 电源。CVB 发生器使用宽带、低“Q”放大器来降低系统中 RF 系统不稳定的可能性。

CX系列

CX 平台已被证明是半导体行业价值和可靠性的基准。这些高频 (HF) 发生器以 3.39MHz 至 30MHz 的单一频率运行。频率捷变选项允许在中心频率的 +/-10% 范围内进行快速频率调谐。

CX 系列无与伦比的 MTBF 将拥有成本降至极低水平。这些发生器率先   在功率放大器设计中采用了 XP Comdel 的专利“S”技术。这种设计增强了系统稳定性并延长了 RF 传输系统的使用寿命。

低频射频电源

Comdel 低频射频电源 旨在满足半导体加工中射频驱动等离子系统的性能需求。应用包括蚀刻、RIE、平行板、ICP、RF 溅射、CVD 和 PVD，以及工业系统中的感应和介电加热工艺。

CLB 系列低频射频电源

CLB 系列融合了先前 CLF 系列的所有功能和创新，并增加了重量更轻、尺寸更小的优势。

CLX系列

CLX 系列低频射频电源的功率范围为 600 至 12,000 瓦，固定频率为 20 kHz 至 2 MHz。频率捷变选项允许对某些负载进行快速频率定时。保守评级的固态设计提供低拥有成本和高可靠性。

双频射频发生器和电源

CDX双频发电机

在不牺牲性能的情况下简化操作并降低成本

紧凑的包装减少了空间、服务（电气和管道）和备件库存要求。

ESC-HV 静电吸盘电源

ESC 系列静电吸盘电源

1-15 kV 型号，行业标准接口，专为批量生产而设计，具有可选择的功能和灵活的包装选项。

XP Comdel 的 ESC 静电吸盘电源套件 提供最稳定的电气设计和**的封装灵活性。这些紧凑、轻便的卡盘电源配有内置 RF 滤波器，用于设备保护和无与伦比的夹持，适用于静电晶圆加工应用。

Match Pro 阻抗匹配网络

MatchPro 自动调谐网络

超快速调整和微调分辨率提供可重复的过程结果。 所有 Match Pro 阻抗匹配网络 均采用 XP Comdel 独特的 PROTRAK 设计，这是一种高速调谐算法，可在系统接近调谐点时逐渐减慢系统速度，即使在高“Q”负载下也能实现精确匹配。这个比例控制电路说明了 XP Comdel 的 Match Pro 与其他匹配网络之间的关键区别。Match Pro 可快速、准确且可靠地将输入阻抗调整为 50 欧姆，以响应您过程中负载特性的变化。Match Pro 的工作功率范围为 50 至 50,000 瓦。

VF 系列多通道合成器模块

VF 系列多通道合成器

最多可容纳 16 个通道和广泛的频率范围。

XP Comdel 的 VF 系列 多通道合成器模块 提供相位可调输出，以避免多个阴极等离子体处理室中的破坏性电弧和串扰。VF 系列最多可容纳 16 个通道，并且可以编程为 2 至 60 MHz 之间的任何频率。频率变化是同时的且相位连续的。每个通道的相位可以调整到大于 0.1 度分辨率的精度。VF 系列允许调整电缆长度依赖性。