mks cm130射频电源接口图

mks cm130射频电源维修，射频电源接口定义图，不可多见的引脚定义，维修射频电源必备

维修项目

1.)电源维修

维修尖端精密设备电源配件，主要有高压电源（High Power Supply）、DC、

射频电源(RF Generator)、微波电源，中频电源及匹配器RF Match、Smart Match、RPSC等设备维修。

2.)分子泵控制器维修

CTI,浦发，爱发科，岛津，varian等各种分子泵控制器维修

3.)流量计/真空规维修

Inficon,MKS,BROOKS,浦发，varian,horiba,bronkhosrt

4.)RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源/匹配器

2、MKS ENI 射频电源及匹配器维修

3、DAIHEN 4、KYOSAN射频电源/匹配器维修

5、COMDEL射频电源及匹配器维修

6、ADTEC射频电源及匹配器维修

7、SEREN射频电源及匹配器维修

8、安捷伦ICPMS电源维修

9、赛默飞ICP射频电源维修，NUM icp射频电源维修

8、RFPP

5.)RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

7、安捷伦

8、赛默飞

9、num

6.)高压电源

1、HiTek Power supply高压电源

2、ADVANCE HIVOLT高压电源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源

5、SPELLMAN高压电源

6、Varian高压电源

7、其他品牌

7.)直流电源

1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、SORENSEN直流电源

4、AMETEK可编程电源

5、POWER TEN直流电源

6、灯丝电源、X射线电源

7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp powersupply）

8).微波电源发生器

1、ASTeX AGL系列微波电源MicrowaveGenerator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、ASTeX Smart Match

4、mks

东莞全芯致力于半导体制造设备、半导体封装设备、光伏太阳能生产设备、电镀行业设备电子备件，医疗设备电子，科研院所，真空镀膜等行业，致力于各种大功率开关电源维修、AE电源维修、电镀电源维修、ADL电源维修、射频电源维修，RF电源维修、高频电源维修、ups 电源，分子泵控制器维修，电路板，流量计，真空计等尖端精密电子维修和技术服务。从业二十年，有着丰富原厂的技术支援，有绘制完整的原理图，和各种电源固件，修复率，维修速度快，测试和校准化符合工业规范，达到出厂标准服务范围：刻蚀、RIE、平行板、ICP、pecvd、射频溅射、CVD 和PVD等系统。