安捷伦5517B/BL/C/D/DL/FL激光头维修资讯

安捷伦5517B/BL/C/D/DL/FL激光头维修资讯以及故障排除指南，由东莞全芯激光干涉仪售后维修整理而成，仅供参考，更多的干涉仪激光头维修资讯请联系管工

一、干涉仪故障排除

以下症状表明安捷伦激光头激光器存在问题

1.封头：

•激光头出口没有发出激光。

•激光头的低功率输出。

•激光开启指示灯不亮。

•就绪指示灯未按预期点亮。正常情况下，指示器

将在通电后四分钟内开始闪烁

激光头。这表明激光头正在

热身。当激光头准备好使用时，指示器

假设处于稳定状态。

•没有参考信号或参考信号不好。

•激光头上的+15V电源接通或-15V电源接通指示灯不亮

点亮。

如果观察到一种或多种以上症状，请使用

故障排除流程图，图21，以帮助确定激光器是否

头实际上有错。

二、排除流程图

三、安捷伦激光干涉仪售后维修方式

公司名称：东莞全芯工控科技有限公司

联系方式：管工13790663326